奥地利托马斯设备用加热器:纯木材质(99.995%)+ 纯钨材质(99.995%)
型号:23001、23002、23003成套使用。
部件一:23001
A部分(内胆)使用23001型号
零件
导航盘(143mm* 2T):1个
钨钼圈支钉:36个
钼制导航盘支架:5个
钨制加热圈:2个
钨制加热圈电极:4个
部件二:23002
B部分(中圈)使用23002型号
零件
导航盘(235mm* 1T):4个
钨钼圈支钉:64个
钼制导航盘支架:15个
钨制加热圈:3个
钨制加热圈电极:6个
部件三:23003
C部分(外壳)使用23003型号
零件
导航盘(280mm* 1T):4个
钨钼圈支钉:24个
钼制导航盘支架:14个
钨制加热圈:8个
钨制加热圈电极:16个
已知部件信息:
排气收集器
设备-----Aixtron
客户:Samsung electro-mechanics(三星电镀机械),Epi-valley, LG Siltron,EPISTSTAR,CMLT
材料---纯钼材质(99.995%)
测试条件(三星)
温度:1200℃-1400℃
时间;批量100(加工批量)
结果
寿命:超过三个月
热膨胀:无
裂缝:无
目前只找到一家生产商:深圳德同光电材料有限公司 0755-83692179(袁先生)
报价:整套合计395,000元(23001+23002+23003),维修价格310,000元。
钨制加热器
1)设备-Thomas swan
2)型号-3*2,6*2英寸和19*2英寸和30*2英寸
3)客户-EPIVALLEY/EPI-PLUS/EPISTAR
4)测试环境
温度:-1400℃
5)结果
寿命:超过2000Hr
可以维修
(分解->清洗->零件更换->重装)
优点:集合功能的改进和性能的增强
联系人:苗先生
电话:+86-0592-5129696
传真:+86-0592-5129797
邮箱:forest@ctia.com.cn