内蒙古奥晶半导体科技有限公司:
你单位报送的《关于内蒙古奥晶半导体科技有限公司3-6英寸半导体级单晶硅棒及硅片制造项目环境影响报告书报批的申请》和《内蒙古奥晶半导体科技有限公司3-6英寸半导体级单晶硅棒及硅片制造项目环境影响报告书》(以下简称《报告书》)收悉,根据《内蒙古奥晶半导体科技有限公司3-6英寸半导体级单晶硅棒及硅片制造项目环境影响报告书技术评估报告》经研究,批复如下:
一、项目基本情况:
1、项目位于包头市青山区装备制造产业园区,建设年产1000t 3-6英寸半导体级单晶硅棒及500万片单晶硅切片项目。项目总占地面积50亩(33333.3m2),总建筑面积27259m
2。其中包括生产车间、主辅料库、综合办公楼及相关辅助设施等。项目供水、供电依托园区管网提供,设置2台2.1MW燃气锅炉(一用一备)用于冬季供暖。项目总投资为30441万元,其中环保投资为629万元,环保投资占总投资的比例为2.1%。项目符合产业政策,项目须严格落实各项污染防治措施和环境风险防范措施,制定并实施严格的环境管理制度。从污染影响角度分析,我局原则同意你公司环境影响报告书中所列的建设项目的性质、规模、工艺、地点和环境保护对策措施。
二、项目建设应重点做好以下工作:
(一)在设计、建设和运行中,按照“环保优先、绿色发展”的目标定位和循环经济、清洁生产的理念,进一步优化工艺路线和设计方案,优化调整能源结构,强化各装置节能降耗措施,从源头减少污染物的产生量和排放量。(二)严格落实各项大气污染物防治措施。根据项目各类工艺废气污染物采用不同的处理方式,处理设施的处理能力和处理效率应满足需要,确保各种大气污染物排放满足国家和地方有关标准要求。项目废气主要包括:生产过程中产生的粉尘、酸洗废气、粘胶废气、污水站臭气、燃气锅炉废气、食堂油烟。生产过程中产生的粉尘(颗粒物)、酸洗废气(NOx、氟化物、氯化氢)、粘胶废气(非甲烷总烃)经处理后排放,污染物排放须执行《大
气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中表2二级标准限值。燃气锅炉产生的二氧化硫、颗粒物须执行《锅炉大气污染物排放标准》(GB13271-2014)排放浓度限值,氮氧化物须执行《锅炉大气污染物排放标准》(DB11/139-2015)。食堂油烟废气排放须执行《饮食业油烟排放标准》(试行)(GB18483-2001)表2最高允许排放浓度。污水处理站无组织废气(硫化氢、氨气、臭气浓度)须执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中恶臭污染物厂界二级标准值。
(三)项目废水主要包括:含氟废水、含硅废水、有机废水,纯水制备产生的浓盐水以及生活污水。项目纯水设备排水大部分回用于,部分浓盐水与其他生产、生活废水外全部进入厂内污水处理站处理;含硅废水经脱水处理,大部分回用于生产工序,少量排入园区管网;酸洗废水经物化处理后,再采用反硝化+一级A/O工艺进行处理后,排入园区排水管网;有机废水经“水解酸化+生化处理”,处理后废水排入园区排水管网;餐饮废水经隔油池处理后与其他生活污水一起进入化粪池,经厂区化粪池收集后与生产废水一同排入总排口至北郊水质净化厂。项目设有独立的污水总排口,外排废水水质须执行《电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)》表1中电子专用材料间接排放限制要求。
(四)项目主要噪声源为真空泵、空压机、截断机、开方机、磨面机、金刚线切片机、泵、风机等设备。项目采用隔声、消声、减震、合理布局等治理措施后,另外经建筑隔声、距离衰减等降噪措施后排放,厂界噪声须执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求。
(五)严格落实固体废物污染防治措施。根据国家和地方的有关规定,按照“减量化、资源化、无害化”原则,对固体废物进行分类收集、处理和处置,确保不造成二次污染。项目产生的一般工业固体废物:废石英坩埚、废石墨热场、废金刚线、除尘器收集粉尘、废包装材料、废树脂板、废反渗透膜、不合格产品、单晶评价废样片、污泥(酸洗废水处理系统含氟污泥、含硅污泥、生化污泥),全部暂存于一般固废暂存间定期外售综合利用。危险废物包括废活性炭、废酸桶、废油、废胶片、粘棒胶包装瓶,暂存于危废暂存间,最终送至有资质的单位进行安全处置。生活垃圾收集于厂区垃圾桶,交由环卫部门清运。
一般工业固废暂存满足《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB1859-2020)中有关规定;危险废物暂存满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18598-2001)及修改单。
(六)强化各项环境风险防范措施,有效防范环境风险。编制《企业事业单位突发环境事件应急预案》及《危险废物意外事故防范措施和应急预案》,并报青山生态环境分局备案。按照“分类管理、分级响应、区域联动”的原则,建立项目与的环境风险应急联动机制,定期开展突发环境事件应急演练,提升区域环境风险防范能力,有效防控环境风险。
(七)你公司应配合青山区人民政府及相关部门,以改善环境质量为核心,按照《关于对内蒙古奥晶半导体科技有限公司3-6英寸半导体级单晶硅棒及硅片制造项目主要污染物排放总量削减替代的意见》文件中对主要污染物区域削减替代分意见的要求,在项目投产前完成各项污染物区域削减工程,满足环境质量改善要求。
三、项目建设必须严格执行配套的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的“三同时”制度,严格落实各项环境保护措施和环境风险防范措施。施工招标文件和施工合同应明确环保条款和责任,留存环保工程施工记录,认真落实施工期环境保护工作,按规定程序开展竣工环境保护验收。
四、在项目发生实际排污行为或投产之前,按照经批准的环境影响评价文件认真梳理并落实各项环境保护措施,污染物排放清单及其他有关内容载入排污许可证,有机衔接环境影响评价与排污许可证申领、变更,并按证排污。
五、环评文件经批准后,项目的性质、规模、地点、生产工艺和环境保护措施发生重大变动的,且可能导致环境显著变化(特别是不利环境影响加重)的,应当重新报批该项目环评文件。自批复之日起超过5年方动工的,其环评文件应当报审
批部门重新审核。
六、包头市生态环境综合行政执法支队青山大队负责做好该项目施工期、营运期的环境保护监督监察工作。
包头市生态环境局
2023年1月18日